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• 실리콘 압력 센서, -壓力-, Silicon Pressure Sensor

  외부의 압력에 비례하여 반응하는 전기적 현상과 실리콘 반도체의 특성을 결합시킨 압력 검출 센서. 어떤 종류의 결정판에 압력을 가하면 그 압력에 비례하여 양, 또는 음전하가 발생하게 되는 압저항 효과(Piezoresistive effect) 센서와 탄성체인 폴리실리콘 멤브레인이 휘어질 때 생기는 정전 용량의 변화를...